Sprioc Tíotáiniam

Íona
Tá íonacht ar cheann de na príomhtháscairí feidhmíochta den sprioc, toisc go bhfuil tionchar mór ag íonacht na sprice ar fheidhmíocht an scannáin . Mar sin féin, i bhfeidhmchláir phraiticiúla, níl na riachtanais íonachta don sprioc mar an gcéanna . mar shampla, mar shampla, le 12 ", 8, agus an tionscal sreangaithe a fhorbairt ó 12", agus an tionscal sreangaithe, agus an t -iarthar ag an tionscal sreangaithe. 0 . 5um go 0 {. 25um, 0.18um nó fiú 0.13um, agus is féidir leis an íonacht sprice 99.995% roimhe seo riachtanais an phróisis de 0.35umic a chomhlíonadh.
Ábhar neamhíonachta
Is iad na heisíontais i sprioc -sholaid agus ocsaigin agus gal uisce i bpiocháin na príomhfhoinsí truaillithe de scannáin taiscthe . chun críocha éagsúla a bhfuil ceanglais dhifriúla acu maidir le hábhar neamhíonachta difriúla . Mar shampla, tá riachtanais alúmanaim agus alúmanam alúmanam a úsáidtear i dTionscal na semiconductor ag {} i dTionscal na Semiconductor}
Dlús
In order to reduce the porosity in the target solid and improve the performance of the sputtered film, the target is usually required to have a high density. The density of the target not only affects the sputtering rate, but also affects the electrical and optical properties of the film. The higher the density of the target material, the better the performance of the film. In addition, Mar gheall ar dhlús agus neart na sprice, is féidir leis an sprioc an strus teirmeach a sheasamh le linn sputtering . Tá an dlús ar cheann de na príomh -innéacsanna feidhmíochta den sprioc -ábhar .